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真空泵浦维修
真空泵浦维修
本公司Vacuum Pump维修服务以半导体厂、面板厂、光电厂为主,维修各式真空Pump,以客户服务为导向,提供优质维修团队及客户服务,为客户降低成本,并提供各式备品机台,免除停机困扰。
维修服务与说明
巡检服务
依客户需求提供巡检服务,并附表格以了解各机台状况,降低停机风险。
维修服务
提供优质维修团队将品质做到最好。
*Dry Pump&Oil Pump overhaul
维修总类
Ebara
重來機
40X20
65X40
50X20
80X25
150X40
A系列
A10S
A25S
A30W
A70W
A150W
AA系列
AA20
AA40
AA70
AA200
Edwards
IQ系列
IQ40
IQ80
IH系列
IH80
IH160
IH600
IH1000
IH1800
QDP系列
QDP40
QDP80
QMB系列
QMB250
QMB500
QMB1200
Alcatel
PASCAL Series(油式pump):2005、2010、2015、2021、2033、2063
Series one: ADP80/81、ADS301、ADS501、ADS801
Series two:ADP122、ADS602、ADS1202
ATP Series(乾式pump):ATP80、ATP100、ATP150、ATP400、ATP900C
IWATA
ISP90、ISP 250B、ISP 500B
Edwards BOC
ESDP12、ESDP 30、GVSP30
ULVAC
DIS90、DIS 250、DIS 500
VARIAN
TriScroll300、TriScroll600
维修流程
维修前:
维修后:
维修照片:
厂区照片:
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