技术服务

真空泵浦维修

本公司Vacuum Pump维修服务以半导体厂、面板厂、光电厂为主，维修各式真空Pump，以客户服务为导向，提供优质维修团队及客户服务，为客户降低成本，并提供各式备品机台，免除停机困扰。
 

维修服务与说明

巡检服务
依客户需求提供巡检服务，并附表格以了解各机台状况，降低停机风险。
维修服务
提供优质维修团队将品质做到最好。
*Dry Pump＆Oil Pump overhaul
 

维修总类

Ebara
重來機 40X20 65X40 50X20 80X25 150X40
A系列 A10S A25S A30W A70W A150W
AA系列 AA20 AA40 AA70 AA200  
Edwards
IQ系列 IQ40 IQ80      
IH系列 IH80 IH160 IH600 IH1000 IH1800
QDP系列 QDP40 QDP80      
QMB系列 QMB250 QMB500 QMB1200    
Alcatel
  • PASCAL Series(油式pump)：2005、2010、2015、2021、2033、2063
  • Series one： ADP80/81、ADS301、ADS501、ADS801
  • Series two：ADP122、ADS602、ADS1202
  • ATP Series(乾式pump)：ATP80、ATP100、ATP150、ATP400、ATP900C
IWATA
  • ISP90、ISP 250B、ISP 500B
Edwards BOC
  • ESDP12、ESDP 30、GVSP30
ULVAC
  • DIS90、DIS 250、DIS 500
VARIAN
  • TriScroll300、TriScroll600

维修流程

维修前：
维修后：
维修照片：
厂区照片：
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