商品明細

電熱水洗式廢氣處理機

料號：S002

商品詳細介紹Product Introduction

電熱水洗式廢氣處理機為一臺專門處理各種製程廢氣的系統，它混合了熱氧化分解及水溶解的過程，將製程所產生的廢氣，利用特殊設計的一個反應室，反應成粉末或是反應成溶解於水中的物質，再經過後段之完全有效處理才排放至廠務中央處理系統，所處理的廢氣，包含半導體廠、 TFT-LCD 廠、LED廠、太陽能廠 …等所使用的特殊氣體。

商品特色

◆工研院 SEMI S2 之相關安全認證
◆水溫偵測感應系統
◆低耗水量之專利設計
◆智慧型電子控制系統
◆設有雙馬達排水系統
◆作業溫度 850 度，有效處理廢氣
◆智慧型線上故障排除系統
◆廣泛使用在 CVD,ETCH,Diffusion,Solar cell 等製程
◆超精密之安全機制在機台各個重點位置皆有安裝即時 ON-Line 訊號點
◆人性化機台之操作設計保護相關工作人員之安全性及便利性
◆榮獲全球專利之水幕式反應腔體，可避免腔體粉塵阻塞及腐蝕
◆保養維護的週期長，定期巡檢的時間約 0.5~1小時，不影響製程

配備選購

出口端鼓風機
遠端監控系統
自動切換系統
加熱槍及加熱帶
水質酸鹼測量供應系統

聯絡方式

尾氣處理設備產品 -
聯絡人：蔡苑玲 / Debbie
聯絡電話：03-5511899#256、0912-236040
聯絡信箱：bsm88@osc-tw.com

真空設備產品 -
聯絡人：陳志欣 / Joyce
聯絡電話：03-5511899#271、0972-109900
聯絡信箱：bsm66@osc-tw.com