技術服務

真空泵浦維修

本公司Vacuum Pump維修服務以半導體廠、面板廠、光電廠為主，維修各式真空Pump，以客戶服務為導向，提供優質維修團隊及客戶服務，為客戶降低成本，並提供各式備品機台，免除停機困擾。
 

維修服務與說明

巡檢服務
依客戶需求提供巡檢服務，並附表格以了解各機台狀況，降低停機風險。
維修服務
提供優質維修團隊將品質做到最好。
*Dry Pump＆Oil Pump overhaul
 

維修總類

Ebara
重來機 40X20 65X40 50X20 80X25 150X40
A系列 A10S A25S A30W A70W A150W
AA系列 AA20 AA40 AA70 AA200  
Edwards
IQ系列 IQ40 IQ80      
IH系列 IH80 IH160 IH600 IH1000 IH1800
QDP系列 QDP40 QDP80      
QMB系列 QMB250 QMB500 QMB1200    
Alcatel
  • PASCAL Series(油式pump)：2005、2010、2015、2021、2033、2063
  • Series one： ADP80/81、ADS301、ADS501、ADS801
  • Series two：ADP122、ADS602、ADS1202
  • ATP Series(乾式pump)：ATP80、ATP100、ATP150、ATP400、ATP900C
IWATA
  • ISP90、ISP 250B、ISP 500B
Edwards BOC
  • ESDP12、ESDP 30、GVSP30
ULVAC
  • DIS90、DIS 250、DIS 500
VARIAN
  • TriScroll300、TriScroll600

維修流程

維修前：
維修後：
維修照片：
廠區照片：
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