商品明細

水洗电热水洗式废气处理机

  • 料號:S005

商品詳細介紹Product Introduction

最新款电热水洗式废气处理机为高端半导体制程废气的处理系统,有高温电热式腔体,将制程所产生的废气,利用特殊设计的一个反应室,反应成粉末或是反应成溶解于水中的物质,再经过后段之完全有效处理才排放至厂务中央处理系统,所用之材料符合FM防火认证,并支援isys节能环保功能。所能处理的制程废气,包含高端半导体厂、 TFT-LCD 厂、LED厂、太阳能厂 …等所使用的特殊气体。

商品特色

◆工研院SEMI S2之相关安全认证
◆作业温度850度,有效处理废气
◆独立的Inlet和Outlet压力表头
◆使用Inlet加热棒的加热装置
◆搭載空氣與氮氣的預熱裝置
◆简易的预防性维修

商品规格

产品规格:
1.设有两个废气处理入口端
2.外观尺寸( 公厘 )- 900( 深 )*1000( 宽 )*1950( 高 )
3.机台重量:450 公斤
4.最高处理量可到达800 slm
选购配备:
出口端鼓风机
远端监控系统
自动切换系统
加热枪及加热带
水质酸碱测量供应系统

商品注意事項Product Notes

聯絡人:吳佳松
聯絡電話:03-5511899#252、0972109975
聯絡信箱:bsa66@osc-tw.com
 

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