商品明細

燃燒水洗式廢氣處理機

  • 料號:S003

商品詳細介紹Product Introduction

燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統,它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程,將製程所產生的廢氣,經由反應室二階段的高溫燃燒, 反應成粉末,或是反應成溶解於水中的物質,再經由另一道程序的水槽而排放至廠務處理系統,所處理的廢氣,包含大部份半導體廠及TFT - LCD 廠所使用的特殊氣體,維修保養的頻率少且時間短,不會影響生產的時程。

商品特色

◆工作溫度高達 1350 度,有效處理PFC、Gas
◆遠端監控系統,隨時掌握機台狀況
◆機台多使用循環水,用水量相當節省
◆雙壓力計,監測進口壓力與出口壓力
◆LCD 觸控式螢幕,具中英文介面,人性化操作
◆雙腔體各自獨力的控制系統,可自動by pass
◆反應腔體有特殊防阻塞、PFA 抗腐蝕之設計,能延長機台PM週期,縮短PM 時間
◆電路人機介面 PLC 控制系統,具 99.9 %的穩定性及準確性,維修亦簡單迅速
◆具 SEMI 認證, interlock 、即時警報、故障排除…等安全機制

商品規格

產品規格:
1.可依製程提供二~八個廢氣處理入口端。
2.外觀尺寸 ( 公厘 )-1150( 深 )*1200( 寬 )*2100( 高 )。
3.機台重量: 635 公斤 。
4.最高處理量可到達 1200 slm 。
選購配備:
出口端鼓風機
遠端監控系統
自動切換系統
加熱槍及加熱帶
水質酸鹼測量供應系統

商品注意事項Product Notes

聯絡人:吳佳松
聯絡電話:03-5511899#252、0972109975
聯絡信箱:bsa66@osc-tw.com
 

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