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商品明細
商品詳細介紹Product Introduction
电浆式废气处理机是专门处理各种制程废气的废气处理系统，它利用电浆的超高温燃烧分解后，再由水进行水溶解及降温，并可配合节能装置，有效的管理燃烧时间减少浪费，达成高效率低耗能特色。其所能处理的制程废气包括半导体，LCD厂LED厂太阳能厂等等，即便无天然气供应的厂房，也可以安装，方便且安全。
商品特色
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小体积
- 满足客户既有空间需求，高CP值设计。
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高效率
- 电浆焰含有丰富的UV光，可加速化学反应，可将能量作最有效的运用。
- 可有效处理温室气体。
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超安全
- 机台设计皆符合SEMI S2认证要求。
- 安全机制全方位，电力、温度、流量、压力连锁设计达百分百。
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省资源
- 使用isys功能，有效减碳节能，不浪费。
- 机台多使用循环水，用水量相当节省。
商品规格
产品规格：
1.外观尺寸(公厘)-900(深)*850(宽)*1957(高)。
2.机台重量：650公斤。
3.特气最高处理量可达300slm。
选购配备：
节能装置系统
远端监控系统
自动切换系统
水质酸碱测量供应系统