商品明細

水洗電熱水洗式廢氣處理機

  • 料號:S005

商品詳細介紹Product Introduction

最新款電熱水洗式廢氣處理機為高端半導體製程廢氣的處理系統,有高溫電熱式腔体,將製程所產生的廢氣,利用特殊設計的一個反應室,反應成粉末或 是反應成溶解於水中的物質,再經過後段之完全有效處理才排放至廠務中央處理系統,所用之材料符合FM防火認證,並支援isys節能環保功能。所能處理的製 程廢氣,包含高端半導體廠、 TFT-LCD 廠、LED廠、太陽能廠 …等所使用的特殊氣體。

商品特色

◆工研院 SEMI S2 之相關安全認證
◆作業溫度 850 度,有效處理廢氣
◆獨立的 Inlet 和 Outlet 壓力表頭
◆使用Inlet加熱棒的加熱裝置
◆搭載空氣與氮氣的預熱裝置
◆簡易的預防性維修

商品規格

產品規格:
1.設有兩個廢氣處理入口端
2.外觀尺寸 ( 公厘 )- 900( 深 )*1000( 寬 )*1950( 高 )。
3.機台重量:450 公斤。
4.最高處理量可到達 800 slm。
選購配備:
出口端鼓風機
遠端監控系統
自動切換系統
加熱槍及加熱帶
水質酸鹼測量供應系統

商品注意事項Product Notes

聯絡人:吳佳松
聯絡電話:03-5511899#252、0972109975
聯絡信箱:bsa66@osc-tw.com
 

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